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多晶硅冷氢化产品分离及提纯装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:18882117
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本发明公开了一种多晶硅冷氢化产品分离及提纯装置及方法,该装置包括一级粗分塔以及二级粗分塔,其中,一级粗分塔不分离STC,二级粗分塔分离STC,一级粗分塔的原料入口用于接收冷氢化产品,一级粗分塔的塔顶出口与二级粗分塔的原料入口连通,二级粗分塔...
该专利属于四川瑞能硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川瑞能硅材料有限公司授权不得商用。
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