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用于执行曝光处理的系统技术方案
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下载用于执行曝光处理的系统的技术资料
文档序号:18859772
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本发明公开了一种用于执行曝光处理的系统,包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架;光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内;光源组件用于产生曝光光线;投影组件中的支撑构件设置有支承构件,支承构件设有第一、第二接收部...
该专利属于佛山尉达科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山尉达科技有限公司授权不得商用。
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