下载抛光机构及抛光装置的技术资料

文档序号:18834289

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本发明公开了一种抛光机构及抛光装置,涉及光学元件抛光设备技术领域。该抛光机构包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件。行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮,太阳轮与基体固定连接,驱动件与行星架固定连接且带动行星架转动,行...
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