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本发明的静电电容型压力传感器尤其减少CVD工艺特有的污染物质的堆积现象所引起的不良状况。本发明在压力导入室(36)内设置有挡板(39)，其一侧的板面(39a)和与从压力导入孔(22a)导入的被测定介质的行进方向正交的方向相对。使传感器膜片(...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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