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本发明提供一种适用于加工超硬材料的激光加工装置及加工方法。所述装置包括多面体聚焦单元、旋转单元和焦点调节单元，所述多面体聚焦单元用于使入射激光在材料表面上聚焦成焦点，所述旋转单元通过驱动所述多面体聚焦单元的至少一部分旋转从而使所述焦点在所述...
该专利属于深圳光韵达光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳光韵达光电科技股份有限公司授权不得商用。

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