下载滑动零件的制造方法及滑动零件的技术资料

文档序号:1861726

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本发明的滑动零件的制造方法及其滑动零件,利用UBM溅射(Unbalanced  Magnetron  Sputtering)而在与基材(27)的表面的滑动部(28)对应的部位连续地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond  Like...
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