下载衬垫及晶片抛光工装的技术资料

文档序号:18462771

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本实用新型提供一种衬垫及晶片抛光工装,涉及抛光技术领域。一种衬垫,用于抛光。衬垫包括相对设置的第一缓冲层和第二缓冲层。第一缓冲层和第二缓冲层之间设置有纤维板,且第一缓冲层和第二缓冲层均与纤维板连接。对陶瓷、蓝宝石、玻璃等各类材质进行抛光时,...
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