下载一种可以在线调整薄膜平整度的装置的技术资料

文档序号:18391550

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本实用新型提供一种可以在线调整薄膜平整度的装置,包括磁石一、弧形轴、前套环、磁石二、后套环、安装板、连杆、粘板、连接板以及电动伸缩杆,前套环安装在弧形轴前端,且延伸至弧形轴内部,后套环装配在弧形轴后端,且延伸至弧形轴内部,后套环内部设置有磁...
该专利属于安徽伽宝真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽伽宝真空科技有限公司授权不得商用。

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