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一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，其主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成；所述的直流等离子体发生器主要由阴极部分、引弧外壳、第一阳极体、阳极外壳、第二阳极部分、第一绝缘套、第二绝缘套组成；所述射频感应耦合...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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