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一种双区加热真空感应单晶炉制造技术
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下载一种双区加热真空感应单晶炉的技术资料
文档序号:1830181
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本实用新型涉及定向凝固技术,具体地说是一种用于定向凝固及单晶生长的真空感应单晶炉。包括隔热挡板、感应线圈、水冷环,加热装置为双区加热结构,由上下石墨发热体构成,热电偶置于上、下石墨发热体之间,上、下石墨发热体高度比为2~5,上、下石墨发热体...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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