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提出一种能够清除硅片的憎水性表面上的微粒的方法，此法是对硅片的憎水性表面进行化学氧化处理，使其表面上生长出一个氧化物层，而不会对表面产生非均匀腐蚀。这个氧化物层使表面呈现亲水性。然后，用苛性腐蚀液对此亲水性表面进行清洗，便可将表面上的微粒除...
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