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均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法技术
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文档序号:1829555
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均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法,其特征是它是在充有含碳气体化合物等气体的容器内,通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列,且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。该方法一次制做操作流程可生产多根长短不一,内径各...
该专利属于黑龙江省光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过黑龙江省光电技术研究所授权不得商用。
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