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本发明涉及单晶圆清洗设备领域，具体而言，涉及一种传输晶圆方法及装置，所述方法通过抓取结构抓取晶圆，将晶圆传输到预设位置，通过翻转结构从抓取结构上夹取出晶圆，并调整晶圆的角度，使晶圆的角度与工艺槽的角度一致，翻转结构将晶圆放到工艺槽中，实现对...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。