下载一种制备纳米材料的真空管式设备的技术资料

文档序号:1828161

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本发明公开了一种制备纳米材料的真空管式设备,它包括密封的真空室(2),所述真空室(2)设置在炉体(1)内,真空室(2)内气流下游处设置有衬底(7),其特征是:该真空室(2)连接有至少一个能控制和调节源材料蒸发速率的源材料蒸发器(16)。本发...
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