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一种用于硅片研磨的搅拌装置制造方法及图纸
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下载一种用于硅片研磨的搅拌装置的技术资料
文档序号:18153456
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本实用新型公开了一种用于硅片研磨的搅拌装置,包括搅拌罐,所述搅拌罐的上方固定安装有旋转电机,所述旋转电机的输出轴上焊接有转动轴,所述转动轴的底端延伸至搅拌罐内,且转动轴的两侧等间距焊接有多个转动杆,所述转动杆活动位于搅拌罐内,且转动杆的两侧...
该专利属于上海磐盟电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海磐盟电子材料有限公司授权不得商用。
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