下载气体浓度检测装置和气体浓度检测方法的技术资料

文档序号:18136792

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本发明涉及一种气体浓度检测装置和气体浓度检测方法,包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及检测分析仪;取样元件与检测腔体连接,检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接,气体浓度检测传感器设置于检测腔体内,检测分析仪分别与...
该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所授权不得商用。

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