下载蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机的技术资料

文档序号:1812347

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本实用新型公开了一种蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机,镀膜室由两部分组成,一部分是固定不动的共用体,另一部分是可以开合移动的前门,两个前门的中央分别装入旋转磁控柱状弧源,利用柱弧源产生的冷场致弧光放电过程使被镀靶材蒸发,离化进行离子镀膜。两个...
该专利属于肇庆市腾胜真空技术工程有限公司;王福贞所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆市腾胜真空技术工程有限公司;王福贞授权不得商用。

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