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本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。该厚度测量装置包括：支架，包括上部支架和下部支架；一对激光探头，分别位于所述上部支架和所述下部支架；测量台，安装到所述支架；以及移动部，用于使被测样品相对于所述一对激光探头沿第一方向和与所述第一方向...
该专利属于北京中科三环高技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科三环高技术股份有限公司授权不得商用。

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