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本实用新型注入机属电物理装置，涉及离子注入金属材料表面改性技术。注入机束线采用立式，使用强流大束斑离子源，工件靶利用直冷式三维传动。与现有技术相比，结构简单，容易操作，装机容量增加，生产效率高，成本降低，节约能源，可满足大批量工业生产的需要...
该专利属于核工业西南物理研究院所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

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