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一种等离子体加速器法离子镀膜装置，属于物理汽相沉积技术。本实用新型注重霍耳加速器效应的使用，加速器中带有圆柱状永久磁铁，永久磁铁与屏蔽相匹配，因此产生的电离蒸汽质量高、加速合理、镀膜效果好，改变了现有技术液滴微团多、加速和镀膜效果较低的现状...
该专利属于北京长城钛金技术联合开发公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京长城钛金技术联合开发公司授权不得商用。

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