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杭州等离子装备工程有限公司
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一种程控电脉冲型多功能离子轰击炉制造技术
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文档序号:1811340
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一种高效节能环保的多功能离子轰击炉,它包括钟罩(1)和钟罩底座(2)组成的真空腔,真空腔体内壁面依次设有保温层(3)、辅助电加热器(4)和阳极(5),在真空腔中间设有阳极(5)和阴极工作台(6),接有可调控的直流脉冲电源,其特征在于: ...
该专利属于杭州等离子装备工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州等离子装备工程有限公司授权不得商用。
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