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一种化学气相沉积系统的多片式活动电镀车台，用以供多个待电镀基板载设于上，包括一车架、多个设置于该车架上的承载座、一设置于所述承载座上的电极板单元及一盖设于该电极板单元上的绝缘顶盖。通过将该多片式活动电镀车台移出该化学气相沉积系统的外部事先进...
该专利属于吴明鸿所有，仅供学习研究参考，未经过吴明鸿授权不得商用。

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