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一种溅射涂层设备用的靶，它包括一个在其上面设置了带溅射靶物质（５８）的表面的阴极（５６）和一个由间隙（９６）与阴极隔开的接地屏蔽（８４）．间隙（９６）填满了一种即使在高湿度下也能防止间隙中产生电弧的电绝缘材料（１０２）．安装在阴极表面的周边...
该专利属于西屋电气公司所有，仅供学习研究参考，未经过西屋电气公司授权不得商用。

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