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多室淀积设备制造技术
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文档序号:1811020
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一种在一个大真空室内将不同涂层同时淀积到一薄带材上的沉积系统已经公开。该系统具有多个淀积室,在这些淀积室内,当带材自送料辊移至终端的被淀积带材的卷紧辊的过程中被淀积上不同的涂层。大真空室内的各淀积室具有各自的密封,最大限度地防止相邻淀积室中...
该专利属于明尼苏达采矿和制造公司所有,仅供学习研究参考,未经过明尼苏达采矿和制造公司授权不得商用。
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