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一种由金刚砂组成的碳膜内含有氮和硼。借助氮和硼的加入，制造出一种不会生长缺陷的金刚石，并使该薄膜与下伏表面成坚实的机械接触。...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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