下载离子溅射渗金属的方法的技术资料

文档序号:1810024

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一种离子溅射渗金属的方法,其特征在于:将金属靶放在辉光放电离子轰出热处理炉的阴极上;将与电报完全绝缘的工件置于金属靶附近;将炉闪气压抽至可产生辉光放电的范围;将热处理炉的工作电压调至800伏以上,额定工作电压以下,同时通入少量氨气;将靶和工...
该专利属于大连海事大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连海事大学授权不得商用。

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