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一种制备溅射靶的方法，该靶含有亚化学计量二氧化钛ＴｉＯ＃－［ｘ］，其中ｘ小于２，电导率小于０．５ｏｈｍ．ｃｍ，还可以与二氧化铌混合，该方法包括在缺氧和不含含氧化合物的气氛中，在靶基底上以等离子喷涂二氧化钛ＴｉＯ＃－［２］，还可以是喷涂与氧化...
该专利属于比夫巴.范德斯特拉登E所有，仅供学习研究参考，未经过比夫巴.范德斯特拉登E授权不得商用。

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