下载制造喷墨记录头的方法的技术资料

文档序号:1808502

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一种用于喷墨记录头的基片,具有用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件。该产热元件由用Ta#-[x]Si#-[y]R#-[z]表示的材料制成的薄膜构成,该薄膜具有4000μΩ.cm或更小的电阻率值,其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。

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