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本发明涉及用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置，属真空镀膜技术领域。本方法将装载小尺寸工件的网笼周期性地控制在镀膜速度Ｎｄ和翻炒速度Ｎｆ下转动。本发明设计的镀膜装置，包括控制电源、电机、减速机和真空镀膜室，其中的真空镀膜室包括真空室、网笼和...
该专利属于北京丹鹏表面技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过北京丹鹏表面技术研究中心授权不得商用。

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