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一种在衬底（２）上沉积薄膜的方法，包括用激光束（１２）烧蚀靶（１６），以产生沿传播方向离开靶的表面（１７）延伸的蒸发物的烟柱（１９）。激光束聚焦在靶表面（１７）之前并在烟柱（１９）中的有限距离（ｄ）处，由此为烟柱（１９）中的蒸发物赋予增加的...该专利属于诺维尔激光技术控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺维尔激光技术控股有限公司授权不得商用。
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一种在衬底（２）上沉积薄膜的方法，包括用激光束（１２）烧蚀靶（１６），以产生沿传播方向离开靶的表面（１７）延伸的蒸发物的烟柱（１９）。激光束聚焦在靶表面（１７）之前并在烟柱（１９）中的有限距离（ｄ）处，由此为烟柱（１９）中的蒸发物赋予增加的...