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本发明涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本发明的箱体高度由传统的１．２米提高到１．８米，绝对工作压力从传统的１×１０↑［－３］Ｐａ降低到...
该专利属于广州机械设计研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广州机械设计研究所授权不得商用。

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