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一种形成含金属的薄膜的方法，包括：使加热底材交替暴露于一种或多种挥发性脒基金属化合物蒸气，然后暴露于还原性气体或蒸气，以在底材的表面上形成金属涂层。...
该专利属于哈佛学院院长等所有，仅供学习研究参考，未经过哈佛学院院长等授权不得商用。

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