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本发明公开了一种化学气相沉积过程中的介观尺度温区温度稳定方法。它包括承载衬底的坩埚放入化学气相沉积装置中，通入反应气体，特征是，在承载衬底的坩埚上覆盖金属网。所述金属网尺寸与坩埚尺寸相同，网格的尺寸是０．１－１ｍｍ。金属网的材料不与气相物质...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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