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本发明提供一种靶组合体，在利用通过接合材料接合靶和背板而构成的靶组合体进行溅射时，靶和背板的接合面也不会暴露于等离子体中，进而，可以防止诱发溅射时的异常放电。在本发明的靶组合体中，把具有规定形状的溅射用靶３１ａ～３１ｆ与背板３２ａ～３２ｆ的...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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