下载承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的剥离组件的技术资料

文档序号:18039066

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本实用新型提供一种承载于承载板的可挠性基板的剥离装置的剥离组件,包含可挠性透气剥离单元;以及密封可挠性透气剥离单元周缘的可挠性密封环,可挠性密封环的截面呈弧型。借此,可将剥离组件设于剥离装置的相关抽气设备进行使用,而于吸附可挠性基板时,利用...
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