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溅射靶制造技术
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下载溅射靶的技术资料
文档序号:1803750
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本申请提供在抽真空或开始溅射时及在溅射过程中不开裂的ITO溅射靶。尤其是没有上述开裂的、靶短轴是长轴的0.7倍-1.0倍的单片式ITO溅射靶或长度达宽度4倍以上的细长多段形ITO溅射靶。本发明的溅射靶实际上是在单块衬板上接合由铟、锡和氧构成...
该专利属于东曹株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东曹株式会社授权不得商用。
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