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本发明公开了一种硬质碳膜及其生产方法以及滑动部件。经由中间层（２）形成在基材（１）上的硬质碳膜（３）由类金刚石碳层（６）和在该类金刚石碳层（６）上形成的石墨粒子淀积层（７）组成。该石墨粒子淀积层（７）的Ｉ↓［Ｄ］／Ｉ↓［Ｇ］为１或更小，所述...
该专利属于丰田自动车株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丰田自动车株式会社授权不得商用。

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