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本发明涉及用于金属硅氮化物、氧化物或氮氧化物的ＡＬＤ／ＣＶＤ的Ｔｉ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｚｒ及相关金属硅氨化物，具体而言，所述金属硅氨化物为一种由下列结构表示的有机金属络合物：其中Ｍ是选自元素周期表４族的金属，Ｒ↑［１－４］可以相同或不同，选自二烷...
该专利属于气体产品与化学公司所有，仅供学习研究参考，未经过气体产品与化学公司授权不得商用。

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