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一种用于输送所需质量的气体的系统，包括：室；控制进入室的流的第一阀门；控制流出室的流的第二阀门；连接到室的压力传感器；输入装置，用于提供将所输送的所需气体质量；连接到阀门、压力传感器和输入装置的控制器。控制器被编程为：从输入装置接收所需气体...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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