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本发明描述了用于与高传导率蒸汽传输系统相耦合的多盘固态前驱体蒸发系统（５０、１５０、３００、３００’）的可置换前驱体盘，其用于通过增大固态前驱体的暴露表面积来增大沉积速率。多盘固态前驱体蒸发系统（５０、１５０、３００、３００’）被配置为耦合...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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