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内孔检测光学系统及内孔检测设备技术方案
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文档序号:18028959
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本实用新型公开一种内孔检测光学系统和内孔检测设备,其中,内孔检测光学系统用于检测工件,包括成像棱镜、分光镜、感光成像元件和光源,其中,成像棱镜、分光镜、感光成像元件依次间隔设置,成像棱镜临近工件设置,光源发出的出射光经分光镜反射至成像棱镜,...
该专利属于深圳市牧激科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市牧激科技有限公司授权不得商用。
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