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用于UV固化系统的富氮冷却空气模块技术方案
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下载用于UV固化系统的富氮冷却空气模块的技术资料
文档序号:1802769
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一种再循环冷却系统可以与固化系统一起使用,以减小系统的排气需求。另外,使用冷却液诸如氮降低臭氧的产生以及系统的密封需求。一种简单的热交换器可以在返回和供应容器之间使用,以去除在循环经过固化辐射源期间添加到再循环流体的热。氮可来自氮源,或者来...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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