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一种用于向原子层沉积（ＡＬＤ）反应器分配一种或多于一种气体的系统和方法。被安装在喷头组件上的集成式进气歧管挡块包括直接安装于其上的高温（可达到２００℃）额定阀门以及短的、容易被清洗的反应物管线。整体通道和金属密封件可以避免Ｏ型环及沿流动路径...
该专利属于ASM美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASM美国公司授权不得商用。

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