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功率电子器件用AlN陶瓷敷铜基板及其制备方法技术
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文档序号:17867616
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本发明公开了一种功率电子器件用AlN陶瓷敷铜基板,其特征在于,包括AlN衬底、Cu、Ti、Al膜和Cu箔,所述Cu、Ti、Al膜涂敷在AlN表面,所述Cu箔敷接于Cu、Ti、Al膜之上。本发明还公开了一种功率电子器件用AlN陶瓷敷铜基板及其...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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