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本实用新型提供了一种传感器芯片，包括：基底，基底的其中一个表面上形成有一凹槽，凹槽具有一预设深度；敏感材料层，其填充在凹槽内，且敏感材料层的厚度大于或等于凹槽的预设深度；和电极材料层，其形成在基底的表面处，并与敏感材料层电连接，用于将敏感材...
该专利属于苏州慧闻纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州慧闻纳米科技有限公司授权不得商用。

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