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本发明涉及用于降低嵌段共聚物膜(BCP1)的缺陷率的方法,所述嵌段共聚物膜(BCP1)的底表面与基底(S)的预中性化的表面(N)接触且所述嵌段共聚物膜(BCP1)的顶表面覆盖有顶表面中性化层(TC),以得到垂直于底界面和顶界面两者的所述嵌段...该专利属于阿科玛法国公司;波尔多理工学院;波尔多大学;国家科学研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过阿科玛法国公司;波尔多理工学院;波尔多大学;国家科学研究中心授权不得商用。