下载用于降低嵌段共聚物膜的缺陷率的方法的技术资料

文档序号:17572765

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及用于降低嵌段共聚物膜(BCP1)的缺陷率的方法,所述嵌段共聚物膜(BCP1)的底表面与基底(S)的预中性化的表面(N)接触且所述嵌段共聚物膜(BCP1)的顶表面覆盖有顶表面中性化层(TC),以得到垂直于底界面和顶界面两者的所述嵌段...
该专利属于阿科玛法国公司;波尔多理工学院;波尔多大学;国家科学研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过阿科玛法国公司;波尔多理工学院;波尔多大学;国家科学研究中心授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。