下载线形光照射装置的技术资料

文档序号:17572059

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为了提供一种防止线形光的线宽变宽而提高测定精度的线形光照射装置,线形光照射装置具备:直线状地排列的多个LED;聚光构件,其会聚从所述各LED射出的光;以及形成有第1狭缝的第1狭缝构件,所述第1狭缝沿着排列有所述多个LED的排列方向延伸,并且...
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