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一种同时具有气敏和光敏的化学传感器制造技术
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下载一种同时具有气敏和光敏的化学传感器的技术资料
文档序号:17484739
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本发明所制备的一种同时具有光敏特性和气敏特性的化学传感器涉及专门适用于对各种气体以及光照检测的半导体器件。本发明所制备的一种同时具有光敏特性和气敏特性的化学传感器,由化学传感器的敏感层、平面型镀Au陶瓷衬底、引线以及气敏传感器底座构成;所述...
该专利属于河北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北工业大学授权不得商用。
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