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本实用新型适用于直拉型单晶硅制备装置技术领域，提供了一种单晶炉加热器及单晶炉加热系统。本实用新型的单晶炉加热器包括下发热体、与所述下发热体相连的加热器脚和上发热体，所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接。本实用新型的单晶炉加热系统包括坩埚、...
该专利属于邢台晶龙电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过邢台晶龙电子材料有限公司授权不得商用。

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