温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了基于半环壳谐振子的微陀螺仪。微陀螺仪中设有底部电极、绝缘层、硅基体、谐振子、基座、电极阵列；基座与谐振子的锚端相连，将电信号连到背面的底部电极；硅基体和基座构成半环凹模；环绕谐振子顶端的硅基体由局部离子掺杂，形成环形电极阵列...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。